用于半導體等領域，還可用于國防化工、醫(yī)藥和農(nóng)藥中間體、有色金屬精制以及金屬表面改性處理，用于標準氣、校正氣的配制以及化學分析如鑒定金屬離子，也是制造紅外光學材料的重要原料。